東科芯微電子(南京)有限公司East Microwave Device Co .，Ltd
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機(jī)器人近期披露投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表顯示，目前公司大氣類產(chǎn)品（包括EFEM、大氣機(jī)械手）、兩軸真空直驅(qū)機(jī)械手、真空傳輸平臺(tái)系列產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)批量化訂單，半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)應(yīng)用規(guī)模化效應(yīng)初步顯現(xiàn)。隨著研發(fā)的不斷推進(jìn)以及成果的轉(zhuǎn)化，保障了訂單的高附加值以及未來(lái)此業(yè)務(wù)板塊的成長(zhǎng)性。
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